退火温度对纳米ZnO薄膜结构与发光特性的影响

• 作者: 修向前 张荣 施毅 谢自力 郑有炓 陈晓清 韩平 顾书林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 纳米ZnO薄膜 退火温度 XRD谱 PL谱 喇曼光谱
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: O47
• 字数: 2523字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.11.005

摘要

利用溶胶-凝胶法在硅衬底上制备了纳米ZnO薄膜.研究了热处理对ZnO薄膜的质量与发光性能的影响.结果表明,纳米ZnO薄膜具有六方纤锌矿结构,并且,随着退火温度的升高,ZnO的晶粒变大,c轴取向性变好,紫外发光强度增强.