微机电系统的研究与分析

• 作者: 丁德宏 付世 姚朋军 张宏庆 沈桂芬 范军 韩宇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 微机电系统加工工艺
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 168-171
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 4083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.01.044

摘要

详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈桂芬	辽宁大学物理系	15	136	6.0	11.0
2	付世	辽宁大学物理系	8	47	5.0	6.0
3	丁德宏	辽宁大学物理系	7	47	5.0	6.0
4	姚朋军	辽宁大学物理系	10	109	6.0	10.0
5	张宏庆	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
6	范军	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
7	韩宇	辽宁大学物理系	12	31	2.0	5.0