日本基于MEMS传感器的研究进展

• 作者: 吴明红 焦正
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 微机械加工
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.01.002

摘要

本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	焦正	日本大阪大学产业科学研究所	2	36	2.0	2.0
2	吴明红	中国科学院原子核研究所	2	36	2.0	2.0