飞秒激光在材料微加工中的应用

• 作者: 傅星 王清月 胡小唐 贾威
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 激光微加工 微结构改性 多光子吸收 光子晶体
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 194-201
• 页数: 8页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 3970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.010

摘要

本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理,并着重指出了其与长脉冲激光的区别.飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料,并且,加工精度极高,可进行亚微米尺寸的精密加工.通过分析飞秒激光材料微加工的特性,综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状.