磁控溅射制作铝电解用惰性阳极

• 作者: 刘亦安 杨百梅 薛成山 郭兴龙
• 来源期刊: 山东理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 惰性阳极 纳米颗粒 铝电解
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 92-95
• 页数: 4页
• 分类号: TF111.52
• 字数: 1574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6197.2004.01.020

摘要

利用磁控溅射的方法,在Ni基体上形成致密的氧化物薄膜,用做铝电解实验的惰性阳极.用X射线衍射(XRD)分析、电子显微(SEM)分析,对实验前后薄膜的成分、形貌进行了定性分析和观察.实验结果表明:薄膜纳米尺寸的微小颗粒紧密排布;在960℃冰晶石熔盐电解质中,试样电极具有良好的耐腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛成山	山东师范大学半导体研究所	117	476	11.0	13.0
2	杨百梅		7	33	3.0	5.0
3	刘亦安	山东师范大学半导体研究所	6	22	3.0	4.0
4	郭兴龙	山东师范大学半导体研究所	4	11	2.0	3.0