Sol-Gel法制备BST铁电薄膜及其性能分析

• 作者: 刘陈 尹盛 张五星 曾祥斌 王长安 邹雪城
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: Sol-Gel 钛酸锶钡薄膜 介电特性 漏电流
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 45-47，55
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2004.01.014

摘要

用Sol-Gel法制备出表面致密,界面清晰的BST铁电薄膜.分析了BST薄膜的J-V特性,由于使用了不同的上下电极,导致J-V曲线的不对称,且在外延生长的Pt电极上制备的BST薄膜有较低的漏电流.分别在大气和干燥气氛下测量了BST薄膜的介电特性,分析结果表明:湿度对BST薄膜的介电特性有很大的影响,为了得到正确的介电特性,其测量必须在真空或干燥气氛下进行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹雪城	华中科技大学电子科学与技术系	310	2261	21.0	31.0
2	曾祥斌	华中科技大学电子科学与技术系	45	285	10.0	14.0
3	王长安	华中科技大学电子科学与技术系	23	163	7.0	11.0
4	尹盛	华中科技大学电子科学与技术系	38	448	12.0	19.0
5	张五星	华中科技大学电子科学与技术系	21	157	8.0	12.0
6	刘陈	华中科技大学电子科学与技术系	27	371	10.0	18.0