GCr15轴承钢表面PⅢD处理膜层膜基结合力的研究

• 作者: 于永澔 刘洪喜 汤宝寅 王宇航 王晓峰 王松雁 王浪平 甘孔银
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积 结合力 划痕法
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 233-237
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.019

摘要

采用等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面形成TiN薄膜,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量.结果发现:适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力,而且膜基结合力也会随着注入电压和注入量与沉积量比例的变化而改变.