纳米复合超硬薄膜的研究现状

• 作者: 宋力昕 施尔畏 胡行方 范秋林 赵红雨
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超硬薄膜 纳米复合结构 CVD 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 9-16
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 字数: 6013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2004.01.002

摘要

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施尔畏	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心	71	1736	25.0	41.0
2	宋力昕	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心	51	585	15.0	22.0
3	胡行方	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心	62	2055	24.0	44.0
4	赵红雨	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心	2	40	2.0	2.0
5	范秋林	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心	2	40	2.0	2.0