薄膜热阻微传感器技术

• 作者: 巴德纯 张以忱 马胜歌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 温度传感薄膜 功能薄膜 热电阻 膜系
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TB771
• 字数: 5778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.05.006

摘要

在工业生产中,人们对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,而薄膜传感器的出现满足这一要求.薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛应用.本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、应用,着重介绍了薄膜热敏电阻传感器测温机理、膜系、影响其测温精度的主要因素及薄膜热敏电阻主要制备工艺、设备等,并探讨了薄膜热敏电阻的标定方法,最后论述了热敏电阻传感功能薄膜的国内外发展现状及其目前制备热敏电阻传感功能薄膜需要解决的关键技术问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张以忱	东北大学真空与流体工程研究中心	153	408	11.0	16.0
2	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
3	马胜歌		12	67	6.0	7.0