全数字化激光直写转台系统

• 作者: 梁宜勇
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 转台系统 微光学
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 1-3,10
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|TN256
• 字数: 2583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.05.001

摘要

为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、光强系统的同步.提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计.配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和变宽线条的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0