激光清洗--富有前途的环保型清洗方法

• 作者: 刘淑静 宋峰 颜博霞
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 激光清洗 激光应用 表面污染
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术、新工艺
• 页码范围: 43-48,60
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.5
• 字数: 5518字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2004.05.010

摘要

激光清洗是一种新的清洗方法,它利用激光的方向性和高亮度,通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物,具有简单方便无二次污染等独特优点.简述了激光清洗的原理及激光清洗表面微粒的方法,介绍了激光清洗在微电子器件清洗、除锈脱漆、文物和城墙清洗等几方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋峰	南开大学物理学院光子学中心	75	889	17.0	25.0
2	刘淑静	南开大学物理学院光子学中心	17	332	11.0	17.0
3	颜博霞	南开大学物理学院光子学中心	5	62	4.0	5.0