银薄膜织构变化的定量研究

• 作者: 张建民 辛晓天 马飞
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 银薄膜 退火 织构定量分析
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 395-397,403
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2004.08.005

摘要

利用X射线衍射(XRD)织构分析技术研究了未退火及在400℃温度条件下经4h真空退火处理后的银薄膜织构.结果表明,银薄膜主要存在(111)和(100)面织构组份.银沉积薄膜(未退火)中(111)取向的晶粒多于(100)取向的晶粒.经退火处理后的硅基银薄膜表现更强的(111)和(100)面织构,而且(111)和(100)取向的晶粒数量基本相当.用表面能和应变能各向异性驱动晶粒生长的机理对此给予了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建民	陕西师范大学物理学与信息技术学院	91	480	12.0	19.0
2	马飞	陕西师范大学物理学与信息技术学院	12	41	3.0	6.0
3	辛晓天	陕西师范大学物理学与信息技术学院	1	2	1.0	1.0