硅微传声器的电声测试与灵敏度分析

• 作者: 吕亚东 李伯权 李晓东 汪承灏 田静 马军
• 来源期刊: 电声技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微传声器 模型 工艺 振膜
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 扬声器与传声器
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TN643
• 字数: 2665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8684.2004.04.007

摘要

根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式硅微传声器进行性能测试,得出了系统设计的原则,要想得到高灵敏度的微传声器器件,在满足工艺可实现性的条件下,必须考虑尽可能小的空气隙厚度,以及具有较小内应力的声学振膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪承灏	中国科学院声学研究所	44	387	10.0	19.0
2	李晓东	中国科学院声学研究所	158	1352	18.0	30.0
3	马军	中国科学院声学研究所	71	550	13.0	20.0
4	田静	中国科学院声学研究所	80	686	17.0	21.0
5	李伯权	中国科学院声学研究所	2	7	1.0	2.0
6	吕亚东	中国科学院声学研究所	9	133	6.0	9.0