金属-半导体-金属(MSM)结构4H-SiC紫外光电探测器的研制

• 作者: XIN Xiao-bin YAN Feng ZHAO Jian-hui 吴正云
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 4H-SiC MSM结构 紫外探测器
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 269-272
• 页数: 4页
• 分类号: O434.22|TN303|O472
• 字数: 1944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.019

摘要

MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视.本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H-SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性.结果表明,该探测器的暗电流非常小,在偏压为15 V的时候,漏电流密度约为70 nA/cm2,光电流比暗电流高约2个数量级,其光谱响应表明,其最高光谱响应与380 nm的比值约为1000倍,说明该探测器具有良好的紫外可见比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正云	厦门大学物理系	33	190	7.0	12.0