Hg1-xCdxTe液相外延薄膜的X射线衍射

• 作者: 何力 杨建荣 王庆学 陈新强 魏彦锋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Hg1-xCdxTe 液相外延 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 946-950
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+6
• 字数: 3982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.08.011

摘要

采用高分辨X射线衍射的方法,研究了Hg1-xCdxTe液相外延材料的X射线衍射摇摆曲线和晶格常数随外延层厚度的变化关系.实验观察到了组分互扩散效应对摇摆曲线和材料晶格常数的影响.衬底与外延层之间的互扩散区约为2～3μm,在此区域,摇摆曲线半峰宽变窄,表明从衬底扩散来的Zn元素降低了界面处的位错密度.通过测量晶格常数随厚度的变化,得到了Cd组分的纵向分布,表面组分低,越靠近衬底组分越高,组分分布呈非线性变化,符合指数衰减关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆学	中国科学院上海技术物理研究所	14	65	5.0	7.0
2	魏彦锋	中国科学院上海技术物理研究所	22	117	6.0	9.0
3	杨建荣	中国科学院上海技术物理研究所	38	175	7.0	11.0
4	何力	中国科学院上海技术物理研究所	54	417	13.0	17.0
5	陈新强	中国科学院上海技术物理研究所	12	49	5.0	6.0