采用粉末溅射的薄膜型气敏元件与测试特性

• 作者: 滕丽丽 蔡成森 袁庆华 裘南畹 邢建平
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 粉末溅射 薄膜 气敏元件 测试特性
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.12.015

摘要

利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间τs<10 s,恢复时间τc<15 s.并对影响灵敏度测试的条件,例如测试电压、湿度影响、反应温变等进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢建平	山东大学信息科学与工程学院	42	177	6.0	11.0
2	裘南畹	山东大学物理与微电子学院	23	36	3.0	4.0
3	袁庆华	山东大学物理与微电子学院	11	34	2.0	5.0
4	蔡成森	山东大学信息科学与工程学院	7	20	3.0	4.0
5	滕丽丽	山东大学信息科学与工程学院	1	0	0.0	0.0