基于相关检测的平面镜摆动姿态在线测量仪

• 作者: 惠梅 王东生 钱建强
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 四象限光电探测器 相关检测 平面镜摆动姿态 标定装置
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 917-920
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.2
• 字数: 2133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.08.009

摘要

介绍一种用于在线测量平面镜摆动姿态的方法及装置.装置采用四象限硅光电探测器为检测元件测量平面镜的摆动姿态,测量原理简单;测量装置以交流调制电路驱动半导体激光器的输出,采用偏振分光的光学系统,并利用相关检测的信号处理方式,有效消除了直流信号漂移的影响,具有较高的测量稳定性;分析了光斑形状及大小对测试结果的影响,研制了专门的标定装置;角度测量范围±30,测量精度优于0.5＂;测量传输器小巧、简单,可以很方便地应用于科学实验和工业测量中,实现平面镜摆动姿态的在线测量.