表面粗糙度检测技术发展概述

• 作者: 关国强
• 来源期刊: 散装水泥
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 测量 粗糙度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 实用工艺技术
• 页码范围: 42-43
• 页数: 2页
• 分类号: TG84
• 字数: 2584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-3922.2004.02.031

摘要

机械加工中,表面特征的研究是控制机械零件表面质量的主要内容,而表面粗糙度是表面特征的重要技术指标之一.随着机械加工工艺水平的提高,对零件的表面质量提出了越来越高的要求,因此如何进行测量和评定已成为国内外学者研究的主要课题.自从扫描探针显微镜(SPM)出现后,各类SPM已经成为测量超精密表面粗糙度的有力手段,并发挥出技术优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关国强	哈尔滨理工大学机械动力工程学院	2	26	2.0	2.0