硅电容压力传感器敏感器件的研究

• 作者: 刘沁 匡石 孙海玮 张治国 李颖 林洪 祝永峰 褚斌 陈信琦
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅电容 压力传感器 差动电容
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.11.008

摘要

研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产.结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙海玮		10	31	4.0	5.0
2	李颖		17	98	6.0	9.0
3	刘沁		13	74	4.0	8.0
4	匡石		13	40	4.0	5.0
5	张治国		15	75	5.0	8.0
6	祝永峰		4	15	2.0	3.0
7	林洪		7	31	4.0	5.0
8	陈信琦		4	14	2.0	3.0