基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析

• 作者: 邵志芳 钱省三
• 来源期刊: 系统工程理论方法应用
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体晶圆制造 Petri网模型 分析
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 177-181
• 页数: 5页
• 分类号: N945.12
• 字数: 4137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2542.2004.02.018

摘要

晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象,使得生产管理及调度问题变得极为复杂.建立描述系统的模型是优化系统性能的前提,指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点,建立了一个拥有4个工作中心、8台设备的晶圆制造系统Petri网模型,并对模型进行分析.最后提出了下一步的工作目标.