一维MEMS微镜静电弹性耦合

• 作者: 万江文 凌坚
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光MEMS 微镜 静电 弹性变形
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 字数: 2788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.10.007

摘要

对静电驱动一维MEMS微镜中的静电弹性耦合问题进行了研究,分析了电极板的偏转变形与静电力的相互影响.为低品质因数的一维微镜系统建立了动态和静态模型,动态模型为一维扩散方程,静态模型由二阶微分方程表示.利用建立的模型对静电弹性耦合一维微镜系统的稳态特性进行分析,得出结论:静电力与弹性力的相对强度λ有一个临界值,当λ处于临界值以上时,系统将没有稳态解,设计的微镜结构应当保证λ处于临界值以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万江文		13	179	6.0	13.0
2	凌坚		2	4	2.0	2.0