从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

• 作者: 勾颖 徐成海 王鑫
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散泵 返油率
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TH3|TB752+.42
• 字数: 3043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.04.008

摘要

评述现有国产扩散泵产品的进展情况,存在的不足之处,今后应努力改进的方向.讨论测量扩散泵返油率的几种方法,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐成海	东北大学机械工程与自动化学院	133	1297	21.0	27.0
2	王鑫	东北大学机械工程与自动化学院	15	67	5.0	8.0
3	勾颖		3	9	2.0	3.0