MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质

• 作者: 刘益春 吕有明 张吉英 李炳辉 申德振 范希武 赵东旭 魏志鹏
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属有机化学气相沉积 ZnO微米柱 X射线衍射 扫描电子显微镜 光致发光
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 139-142
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3
• 字数: 1559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.02.006

摘要

通过X射线衍射、扫描电子显微镜和变温光致发光光谱对MOCVD方法生长在蓝宝石衬底上的ZnO微米柱材料的结构及发光特性进行了表征.X射线衍射结果表明,ZnO具有良好的c轴择优取向,扫描电子显微镜图中可观察出ZnO微米柱呈六角结构生长,半径约为0.5～1.5μm.样品的发光光谱通过He-Cd激光器的325 nm线激发,从光谱中发现低温(81 K)下出现极强的与激子相关的带边发光峰,温度升高到360 K时与自由激子相关的紫外发射峰仍然是清晰可见.