罗门哈斯电子材料公司推出用于90nm低k系列阻挡层研磨液

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篇名	罗门哈斯电子材料公司推出用于90nm低k系列阻挡层研磨液
来源期刊	微纳电子技术	学科
关键词
年，卷（期）	2004,（11）	所属期刊栏目	业界快讯
研究方向		页码范围	48
页数	1页	分类号
字数	424字	语种	中文
DOI