溅射参量对SiC涂层Ti-6Al-4V显微组织的影响

• 作者: 张德志 杨锐 王玉敏 石南林 符跃春
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛基复合材料 磁控溅射 SiC纤维 先驱丝 镀层
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 359-362
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.2
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2004.04.006

摘要

利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6Al-4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20-50 nm,为Q-Ti固溶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨锐	中国科学院金属研究所	168	1204	18.0	28.0
2	石南林	中国科学院金属研究所	31	215	9.0	13.0
3	符跃春	中国科学院金属研究所	3	21	2.0	3.0
4	张德志	中国科学院金属研究所	9	27	2.0	5.0
5	王玉敏	中国科学院金属研究所	16	44	4.0	6.0