CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理方法

• 作者: 方莉俐
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 基体预处理 CVD
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 1060-1064
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.040

摘要

概述了CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理的基本方法,并对一些主要方法作了评述.对于硬质合金类衬底预处理、铜衬底表面预处理、钢铁衬底表面预处理、硅表面预处理,提高膜基结合力的途径除有研磨、超声清洗、植晶、化学腐蚀、等离子体刻蚀、沉积中间过渡层等方法外,还有优化衬底形状、通过表面扩散感应促进成核等手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方莉俐	郑州大学材料物理教育部重点实验室	33	141	8.0	10.0