Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究

• 作者: 夏善红 宋青林 张建刚 陈绍凤
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 比热 悬膜 温度系数
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器——第八届敏感元件与传感器学术会议论文选登
• 页码范围: 5-6,9
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.03.002

摘要

比热是Si3N4薄膜重要的热学参数之一,Si3N4薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义.本研究设计并制作出一种悬膜结构,从理论上分析了此结构的传热机理,并通过实验测得Si3N4薄膜的比热,最后分析了此测量系统存在的误差及解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋青林		1	1	1.0	1.0
2	夏善红		11	53	4.0	7.0
3	陈绍凤		4	9	2.0	2.0
4	张建刚		2	5	1.0	2.0