基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响

• 作者: 孙兆奇 孙大明 宋学萍 李爱侠 赵宗彦
• 来源期刊: 复合材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag-MgF2金属陶瓷薄膜 应力 基底温度 微结构
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 3029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3851.2004.02.004

摘要

用电子薄膜应力分布测试仪测量了基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响.结果表明:基底温度在300℃～400℃范围内,φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为张应力.XRD分析表明:当基底温度在300℃～400℃范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag和MgF2组分的晶格常数接近块体值,说明通过改变基底温度可以降低薄膜内应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋学萍	安徽大学物理系	63	367	10.0	14.0
2	赵宗彦	安徽大学物理系	24	138	6.0	10.0
3	孙兆奇	安徽大学物理系	91	563	11.0	16.0
4	李爱侠	安徽大学物理系	37	194	9.0	11.0
5	孙大明	安徽大学物理系	13	101	6.0	9.0