SOI通道转换型多模干涉耦合器的研究

• 作者: 余金中 樊中朝 王章涛 陈少武
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 多模干涉 通道转换
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 波导与集成光学
• 页码范围: 1047-1049
• 页数: 3页
• 分类号: TN252
• 字数: 209字
• 语种: 中文

摘要

设计和制作了基于SOI的通道转换型多模干涉耦合器.用二维BPM方法分析了耦合器的性能与多模波导宽度和长度的依赖关系.制作出的耦合器能实现良好的通道转换,器件的功率转换比为73,附加损耗为2.2 dB.提高器件制作的精度将能进一步改善耦合器的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	110	703	13.0	21.0
2	樊中朝	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	13	220	8.0	13.0
3	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	39	387	9.0	19.0
4	王章涛	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	5	25	3.0	5.0