一种高分辨率电容微加速度计的设计研究

• 作者: 张少峰 陈花玲
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 分辨率 灵敏度 静电负刚度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.008

摘要

分析了影响加速度计分辨率的因素,在此基础上,通过采用深度反应离子刻蚀工艺获得大的敏感质量和小的电极间隙、采用电容变化量比枝齿梳状敏感结构大一倍的直齿梳状敏感结构和利用静电负刚度来降低结构的刚度等措施提高器件分辨率.最后给出了一种新的设计方案,叙述了其工作原理并分析了影响其闭环灵敏度的因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈花玲	西安交通大学机械工程学院	142	1688	22.0	34.0
2	张少峰	西安交通大学机械工程学院	1	4	1.0	1.0