激光清洗技术在微电子领域的应用

• 作者: 赵志明
• 来源期刊: 洗净技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 清洗 应用
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TN24
• 字数: 4511字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵志明	西安交通大学电信学院	8	20	2.0	4.0