射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射

• 作者: 张兴华 张德恒 张锡健 王卿璞 马洪磊
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 绿光发射
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 291-294
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3
• 字数: 2537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.03.014

摘要

用射频磁控溅射法,在硅衬底上制备出具有良好的(002)择优取向的多晶ZnO薄膜.研究了室温下薄膜的光致发光特性,观察到显著的单绿光发射(波长为514 nm)峰.在氧气中830℃高温退火后,薄膜结晶质量明显提高,绿光发射峰强度变弱;在真空中830℃高温退火后,绿光发射峰强度增加.绿光发射源于氧空位深施主能级到价带顶的电子跃近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
2	张兴华	山东大学物理与微电子学院	52	342	11.0	14.0
3	张德恒	山东大学物理与微电子学院	18	450	12.0	18.0
4	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0
5	张锡健	山东大学物理与微电子学院	18	195	7.0	13.0