脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

• 作者: 何建平 江超 王又青 胡少六
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: Al/Ag掺杂薄膜 脉冲激光沉积 微观分析 工艺参数
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 463-465,468
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.05.008

摘要

为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡少六	华中科技大学激光技术国家重点实验室	21	359	10.0	18.0
2	江超	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	253	9.0	14.0
6	何建平	华中科技大学激光技术国家重点实验室	8	67	4.0	8.0
7	王又青	华中科技大学激光技术国家重点实验室	57	521	12.0	20.0