可鉴别室内有害气体的铟锡氧化物薄膜气敏特性研究

• 作者: 何振杰 孙兰侠 季振国 方向生 王玮 范镓 陈裕泉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氧化铟锡薄膜 溶胶-凝胶法 气敏传感器阵列 选择性
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 277-279
• 页数: 3页
• 分类号: O472|O659.36|TN304.01
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.02.026

摘要

采用无机试剂SnCl2·2H2O及InCl3*4H2O为原料,用溶胶-凝胶提拉法制备了铟锡比不同的氧化铟锡薄膜构成的气敏传感器阵列,并对薄膜的电学性能及气敏性能进行了表征.结果表明,不同铟锡比组成的氧化铟锡薄膜不但载流子浓度不同,而且导电类型也不同,即阵列中每个传感器薄膜的载流子浓度和导电类型是不同的.当气体分子与阵列中的传感器表面接触时,由于载流子种类、载流子浓度、费米能级等的不同,导致电荷转移情况也不同,使得阵列具有很好的选择性.通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯的测试,证明此阵列对四种室内污染气体具有较好的选择性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	陈裕泉	浙江大学生物传感器国家专业实验室	88	1194	20.0	28.0
3	孙兰侠	浙江大学硅材料国家重点实验室	3	37	3.0	3.0
4	王玮	浙江大学硅材料国家重点实验室	32	247	8.0	15.0
5	何振杰	浙江大学硅材料国家重点实验室	2	44	2.0	2.0
6	范镓	浙江大学硅材料国家重点实验室	3	30	3.0	3.0
7	方向生	浙江大学生物传感器国家专业实验室	4	58	3.0	4.0