数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究

• 作者: 冯之敬 程灏波 辛科
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字化 阴影法 图像处理 面形拟合
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与设备
• 页码范围: 115-118
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 2414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.025

摘要

提出了阴影检测技术的一种新型数字化方法,用于定量测量光学元件表面的局部面形误差量.在阴影测量装置后搭建数字图像提取和处理系统,运用傅里叶光学原理进行测量方法的数学建模.利用数字图像系统提取阴影检测图像,通过对阴影检测图像特征的分析重构出光学元件面形.仿真结果表明,运用该模型提取一抛物面镜的面形信息,在一维径向方向上可以达到1 λ(λ=632.8 nm)RMS的重构精度,可以满足光学元件加工粗抛光阶段测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程灏波	清华大学精仪系	24	309	11.0	17.0
2	冯之敬	清华大学精仪系	50	543	14.0	21.0
3	辛科	清华大学精仪系	5	18	3.0	4.0