金属薄膜加热器的研究

• 作者: 朱剑波 杜立群 闫卫平 马灵芝
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型加热器 TCR Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片 微流量传感器
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 615-618
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 2110字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.04.021

摘要

采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80%,Cr:20%)金属薄膜,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响.在一定直流电压条件下,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃,且升温速率皆大于0.50C/s.通过测量微加热器的电阻温度曲线,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学微系统技术研究中心	61	480	13.0	19.0
2	马灵芝	大连理工大学电子工程系	21	156	8.0	11.0
3	闫卫平	大连理工大学电子工程系	57	328	9.0	14.0
4	朱剑波	大连理工大学电子工程系	2	30	2.0	2.0