钛酸钡系薄膜的制备方法、性质及应用

• 作者: 明常鑫 杨芙丽 翟学良 高涛
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 钛酸钡 薄膜 制备
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TQ132.35
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2004.04.002

摘要

综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶-凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶-凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺特点进行了讨论.介绍了钛酸钡薄膜的性质和掺杂后(主要是锶掺杂)对薄膜电性能的影响,对它们的应用现状进行了概括,并对钛酸钡系薄膜的发展趋势做了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟学良	河北师范大学实验中心	61	711	15.0	23.0
2	明常鑫	河北师范大学实验中心	2	19	1.0	2.0
3	杨芙丽	河北师范大学实验中心	4	22	2.0	4.0
4	高涛		1	18	1.0	1.0