钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究

• 作者: 姜斌 孙晓峰 张鹰 李燕 王恩信 蒋书文 黄文
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 钛酸锶钡 快速退火 常规退火 原子力显微镜 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 本期专题:铁电材料
• 页码范围: 82-84
• 页数: 3页
• 字数: 1738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.10.024

摘要

采用射频磁控溅RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常缮规热处理(CFA)对薄膜进行晶化.利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性.实验表明:钛酸锶钡薄膜在500℃开始结晶,到700℃左右时结晶比较完善,晶化过程中没有出现择优取向;从表面形貌和X射线衍射图综合分析,快速退火的晶化效果要优于常规退火.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
2	黄文	电子科技大学微电子与固体电子学院	14	128	6.0	11.0
3	蒋书文	电子科技大学微电子与固体电子学院	30	197	7.0	12.0
4	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
5	姜斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	21	169	6.0	12.0
6	王恩信	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	72	4.0	6.0
7	孙晓峰	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	2	1.0	1.0