微细电化学加工研究新进展

• 作者: 李小海 王振龙 赵万生
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学 微细加工 LIGA 电化学隧道扫描显微镜 超短电压脉冲
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 综述·专稿
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TQ1
• 字数: 5005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2004.02.001

摘要

结合国内外微细电化学加工技术的最新进展,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜(electrochemical STM)的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等.微细电化学在未来的微纳加工中必将大有作为.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振龙		170	3395	35.0	51.0
2	赵万生		204	4482	37.0	54.0
3	李小海		6	301	6.0	6.0