ZnO基紫外探测器的制作与研究

• 作者: 刘博阳 刘大力 张源涛 李万程 杜国同 杨天鹏 杨晓天 杨洪军 赵佰军 马艳
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体辅助金属有机化学气相沉积 ZnO薄膜 紫外探测器
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 156-158
• 页数: 3页
• 分类号: O472.3
• 字数: 1440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.02.010

摘要

利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P-MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进行氮掺杂获得高阻ZnO薄膜.利用ZnO的宽禁带与高光电导特性,结合MSM(金属-半导体-金属)结构器件响应度高、速度快、随偏压变化小、工艺简单、易于单片集成等优点,制作了ZnO基紫外探测器,器件规格为80 μm×100μm,电极为叉指式电极.测试中采用500W的氙灯做测试光源,探测器的I-V特性曲线显示:正向偏压下探测器的暗电流及光照电流与外加偏压呈线性增长.不同波长下的响应曲线显示:探测器对紫外波段有响应,响应峰值在375 nm附近.