基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

• 作者: 苏宇锋 陈文元
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁驱动 微驱动器 Parylene 振动膜
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.2|TP215
• 字数: 1470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4998.2004.12.010

摘要

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化.采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在 Parylene薄膜上电镀 NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文元	上海交通大学微米、纳米技术研究院	56	274	10.0	14.0
4	苏宇锋	上海交通大学微米、纳米技术研究院	5	42	3.0	5.0