超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用

• 作者: 王银川 许向东
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 超高真空系统 电子束蒸发 恒温控制系统 纳米技术
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研制与开发
• 页码范围: 39-40,38
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2004.05.011

摘要

本文主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统ULS400中--自行设计、研制的恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用:制备多种特殊结构的纳米材料,包括首次在超高真空条件下制备出高品质的一维单晶硅纳米线等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王银川	北京大学化学与分子工程学院	3	152	2.0	3.0
2	许向东	北京大学化学与分子工程学院	1	0	0.0	0.0