恒压式气体微流量计测控系统的设计

• 作者: 冯焱 张涤新 成永军 李得天 赵定众
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 气体微流量计 测量与控制 计算机应用
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TB77|TP29
• 字数: 3899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.02.009

摘要

介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0
4	成永军		39	271	9.0	13.0
5	赵定众		8	40	4.0	5.0