磁控溅射制备TiO2薄膜的亲水性能研究

• 作者: 张庆瑜 李长敏 陈敏 黄永刚
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 磁控溅射 亲水性 表面微结构
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 401-404
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.72+4
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.03.024

摘要

用射频磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜,并分别在300℃、400℃、500℃下进行热处理.用紫外吸收光谱、原子力显微镜(AFM)、接触角测定等分析方法研究了制备工艺、热处理和紫外光照射时间对薄膜表面亲水性的影响.结果表明,经紫外光照射或热处理后的TiO2薄膜表面表现出明显的超亲水性,而制备工艺的变化对亲水性的影响不明显.光谱、AFM分析表明,导致薄膜表面亲水性的原因在于薄膜表面微结构的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长敏	大连轻工业学院材料科学与工程系	17	105	6.0	9.0
2	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
3	陈敏	大连轻工业学院材料科学与工程系	13	98	6.0	9.0
4	黄永刚	大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所	3	51	3.0	3.0