分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜

• 作者: 吕有明 张吉英 张振中 梁红伟 申德振 矫淑杰 范希武 颜建锋
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌薄膜 p型掺杂 一氧化氮 射频等离子体 分了束外延
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 460-462
• 页数: 3页
• 分类号: O472.3
• 字数: 1576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.04.025

摘要

用等离子辅助分子束外延(P-MBE)的方法,在蓝宝石c-平面上外延生长了p型氧化锌薄膜.在实验中采用高纯金属锌作为zn源、NO作为O源和掺杂源,通过射频等离子体激活进行生长.在生长温度300℃,NO气体流量为1.0 sccm,射频功率为300W的条件下,获得了重复性很好的p型znO,且载流子浓度最大可达1.2×1019cm-3,迁移率为0.053 5 cm2·V-1·s-1,电阻率为9.5 Ω·cm.