膜厚测量方法

• 作者: 叶青 杨清风
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 膜厚测量 迈克尔逊干涉仪 电子
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 141-143
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055

摘要

日本电子公司开发出1种膜厚测量方法，主要采用迈克尔逊干涉仪，能正确测量膜厚，重现性良好。