一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器

• 作者: 杨宏亮 王志勇 贺德建 鲍剑斌
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 六轴力/力矩传感器 有限元分析 解耦 标定矩阵
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 15-16
• 页数: 2页
• 分类号: TH823
• 字数: 2744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2004.01.006

摘要

本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器.首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析,确定了其布片方案;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力/力矩的解耦,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本;最后本文给出了六轴微力传感器的标定曲线,证明其可用于MEMS做样品力学特性测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志勇	华中科技大学机械科学与工程学院	18	145	7.0	11.0
2	鲍剑斌	华中科技大学机械科学与工程学院	9	142	3.0	9.0
3	贺德建	华中科技大学机械科学与工程学院	2	26	2.0	2.0
4	杨宏亮	华中科技大学机械科学与工程学院	1	8	1.0	1.0