ICP等离子体源天线设计

• 作者: 吴振宇 杨银堂 汪家友
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 感应耦合等离子体 天线 优化设计 电场强度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: O461.1
• 字数: 1719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.01.009

摘要

感应耦合等离子体技术以其低气压下产生高密度等离子体的能力及良好的可扩展性成为微细加工中的重要的加工技术之一.本文提出了一种新型的三段式线圈的设计方法,对激发电场进行了数值计算.结果表明设计的天线能够在径向和方向角方向上产生均匀性良好的电场,耦合效率较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴振宇	西安电子科技大学微电子研究所	24	170	9.0	12.0
2	汪家友	西安电子科技大学微电子研究所	31	267	11.0	15.0
3	杨银堂	西安电子科技大学微电子研究所	420	2932	23.0	32.0