硅基热流式微流量传感器研究

• 作者: 席文柱 牛德芳 闫卫平 马灵芝
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 446-448,394
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TH814
• 字数: 2362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.03.022

摘要

采用微电子技术和微机械加工技术,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器.在恒功率的工作模式下,分析了微流量传感器的特性曲线.实验结果表明,硅基热流式微流量传感器的测量范围在10～800 μL/min之间.