直流反应磁控溅射法制备二氧化钛薄膜的光响应

• 作者: 姚宁 张兵临 张利伟 杨仕娥 樊志琴 鲁占灵
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流反应磁控溅射 二氧化钛薄膜 光响应 光电流
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 667-669,617
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.042

摘要

采用直流反应磁控溅射的方法在镀有ITO的导电玻璃衬底上沉积了二氧化钛薄膜,分别用拉曼光谱和吸收光谱研究了薄膜的结构,通过光电流研究了二氧化钛薄膜的紫外光响应.在100s的时间内光电流能达到最大值的96%,当停止紫外光照射时,光电流在200s的时间内能恢复到暗电流,二氧化钛薄膜对紫外光的灵敏性和稳定的光响应表明二氧化钛薄膜有可能成为一种新的紫外光探测器材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	25	166	8.0	11.0
4	杨仕娥	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	68	513	12.0	18.0
5	张利伟	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	10	109	7.0	10.0
6	樊志琴	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	9	77	6.0	8.0